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所属行业： |
新材料 |
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项目简介： |
beta-FeSi2是重要的窄带隙半导体硅化物，但难以制备高质量的单晶薄膜。本项目利用离子束混合FeSi/Si多层膜的方法制备掺杂的beta-FeSi2颗粒膜。系统研究制备颗粒膜和掺杂的工艺，对合成薄膜的微观结构和掺杂的机理进行深入研究，同时观测掺碳颗粒膜的光电性能，从而建立制备工艺、结构和性能三者之间的关系，不断改善颗粒膜的质量，最终制备高性能薄膜，为beta-FeSi2广泛应用于光电领域打下良好基础。 |
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联系人： |
李晓娜 |
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电话： |
84708958 |
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单位名称： |
大连理工大学 翟鸣宇 |
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合作方式： |
合资 |
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地址： |
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Email： |
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网 址： |
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