|
所属行业： |
电子信息 |
|
项目简介： |
随着大规模集成化芯片上的器件尺寸微型化，为解决微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术，该项发明专利揭示了元器件的另一种本征特性－比例差值谱特性，其谱峰的数量，各谱峰的高度与位置决定了元器件的基本性质。为芯片的在线检测与质量判定提供了新的依据。随着半导体器件的日趋微型化，器件的按比例缩小的一个突出的影响是饱和区趋向消失，给器件特征参数（饱和电流，饱和电压，阈值电压，载流子迁移率）的确定带来困难，该项专利技术使得这些参数的确定可以在最佳(准理想)状态下实现，从而避免了类似的矛盾与困难。具有自主知识产权的比例差值谱分析系统实现了比例差值谱技术的全功能，提供的统一用户接口便于用户实现计算机控制、监测、快速数据采集和分析一体化。 |
|
联系人： |
许铭真 |
|
电话： |
010-62752559 62757705 |
|
单位名称： |
|
|
合作方式： |
合资 |
|
地址： |
（100871）北京大学微电子所 |
|
Email： |
|
|
网 址： |
| |
